反滲透設備的預處理常常由石英砂過濾裝置、活性炭裝置、精密過濾裝置組成，主要目的是去除原水中含有的泥沙、鐵銹、膠體物質、懸浮物，色素、異味、生化有機物，降低水中的余氨值及污染等有害的物質。如果原水中鈣鎂離子含量較高時，還需增加軟水裝置，主要目的在于保護后級的反滲透膜不受大顆粒物質的破壞，從而延長反滲透膜的使用壽命。
反滲透主機：主要有增壓泵、膜殼、反滲透膜、控制電路等組成，是整個水處理系統中的核心部分，產水水質的好壞也取決該部分。只要膜的型號及增壓泵的型號選取得當，反滲透主機對水中鹽分的過濾能力都能達到99%以上，出水電導率可**在10us/cm（25度）以內。
后處理部分：主要是對反滲透主機制取的純水作進一步的處理，如果后續工藝接離子交換或電去離子（EDI)設備，則可以制取工業用超純水，如果用在民用直飲水工藝上，則常常接后置殺菌裝置，例如可以接紫外線殺菌燈或者臭氧發生器，從而使出來的水可以直接引用。
清洗部分：為了**反滲透設備系統的正常運行及延長反滲透膜元件的使用壽命，當反滲透設備系統運行一段時間后為去除碳酸鈣垢、水中金屬氧化物垢、生物滋長等物質就需要對系統進行清洗。
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